Dual Beam - FIB

Un instrument à faisceau d'ions focalisé (FIB) utilise un faisceau d'ions finement focalisé pour modifier et créer une image de l'échantillon d'intérêt. FIB est principalement utilisé pour créer des coupes transversales très précises d'un échantillon pour une imagerie ultérieure via SEM, STEM ou TEM ou pour effectuer une modification de circuit. De plus, l'imagerie FIB peut être utilisée pour imager directement un échantillon, en détectant les électrons émis par le faisceau d'ions ou d'électrons. Le mécanisme de contraste du FIB est différent de celui du SEM ou du S/TEM, de sorte que des informations structurelles uniques peuvent être obtenues dans certains cas. Un FIB/SEM à double faisceau intègre ces deux techniques dans un seul outil, tandis qu'un FIB à faisceau unique ne contient qu'un faisceau d'ions, l'imagerie par faisceau d'électrons ayant lieu dans un instrument SEM, STEM ou TEM séparé.

En tant qu’outil de préparation d’échantillon, le FIB peut produire avec précision des sections d’un échantillon impossibles à créer autrement:

• L'analyse FIB a révolutionné la préparation des échantillons pour les échantillons TEM, permettant d'identifier les caractéristiques inférieures au micron et de préparer avec précision les sections efficaces.
• Les sections préparées par FIB sont largement utilisées en microscopie SEM, où la préparation FIB, l'imagerie SEM et l'analyse élémentaire peuvent être effectuées avec le même outil multitechnique.
• Les sections préparées par FIB sont également utilisées en spectroscopie électronique Auger pour permettre une identification élémentaire des caractéristiques du sous-sol rapidement et avec précision.
• Il s'agit d'un outil idéal pour examiner les produits dotés de petites fonctionnalités difficiles d'accès, telles que celles que l'on trouve dans l'industrie des semi-conducteurs et pour l'identification des particules souterraines.
• C'est une bonne option pour les produits à section transversale difficile, tels que les polymères souples difficiles à polir.

Utilisations idéales de FIB

• Préparation d'échantillons SEM, STEM et TEM
• Images en coupe haute résolution de petits exemples de fonctions difficiles d'accès
• Micro échantillonnage via in situ sortir

Nos points forts

• Meilleure méthode pour sectionner de petites cibles
• Imagerie rapide haute résolution
• Bon contraste de grain
• Plateforme polyvalente prenant en charge de nombreux autres outils

Limites

• Compatibilité sous vide généralement requise
• L'imagerie peut gâcher des analyses ultérieures
• Ga résiduel sur la face analytique
• Les dommages causés par le faisceau d'ions peuvent limiter la résolution de l'image
• La section transversale est petite

Spécifications techniques FIB

• Signaux détectés: Electrons, ions secondaires, rayons X, lumière (cathodoluminescence)
• Imagerie / Cartographie: Oui
• Résolution latérale / taille de la sonde: 7 nm (faisceau ionique); 20 nm (faisceau d'électrons)